由于半导体工艺越来越复杂,Intel的“Tick-Tock”钟摆战略已经放缓,从2年升级一次工艺变成了3年一次,10nm工艺已经延后到了2017年下半年。Intel脚步放慢,三星、TSMC可算是得到超越的机会了,原本跟在Intel后面的它们发力新一代工艺,不仅10nm工艺量产时间超过Intel,下下代的7nm节点上也在摩拳擦掌,这两家争着在明年抢先量产,而三星更是第一家引入量产型EUV光刻机,后者是制造7nm及5nm处理器的关键设备。
先进半导体制造工艺越来越困难,原有的技术手段已经不适用,制造10nm以下的晶体管需要极其复杂的工艺和设备,ASML的EUV光刻机就是其中的关键,EUV代表极紫外光,波长193nm 13nm(波长越短,光刻分辨率越高,晶体管就越小),可用于制造10nm及以下工艺的芯片,但EUV光刻机研发了这么多年,进度并不如预期那么顺利,此前乐观的预测甚至说14nm节点就能用上EUV技术,但现实很骨感,10nm节点都注定没戏了。
三星、TSMC都想抢在Intel之前量产7nm工艺,此前TSMC准备在7nm节点启用EUV工艺,并耗资引进EUV光刻机,但目前的情况来看TSMC已经把EUV量产放在了5nm工艺上。现在三星接过了EUV抢先的势头,ASML公司CEO已经确认三星上周购买了EUV光刻机NXE3400,这将是EUV光刻机的正式量产型号。
从设备安装到开始生产,至少要2-3个季度,这意味着三星的7nm工艺会争取在明年推出,按照之前的发展过程来看,明年底三星可能会宣布量产7nm工艺——虽然实际上可能只是小批量生产,真正的大规模量产可能还要等到2018年之后。