目前三星和TSMC等半导体生产商的EUV极端紫外线光刻机均采购自荷兰的ASML公司，作为光刻机的龙头老大荷兰ASML占据着高达80%的市场份额，垄断了高端光刻机的市场，尼康也不是ASML的对手。Intel，TSMC，三星等公司用来制造14/16nm芯片的光刻机都是从ASML公司那买来的，正因为此，ASML的收入在今年增长了25%。
在今年，EUV光刻机的年产量只有12台，几乎每个月只生产出一台，从侧面说明了EUV光刻机的制造难度。EUV光刻机的单价超过了1亿欧元，但售价高昂，但ASML的客户也有8个之多，其中就包括了Intel，三星和TSMC，这些都是半导体领域的巨头，他们甚至还出钱帮助ASML加快研发EUV研发进度。
EUV的商业化之路走的尤为艰辛，多年以来，EUV技术的进展一直很缓慢，光照亮度的提升始终未能达到人们的预期，采用EUV技术的成本也高得吓人。摩尔定律似乎在触碰着半导体工艺的极限，半导体巨头押注的EUV光刻，被视为拯救摩尔定律的转折点。
目前EUV光刻机的订单已经积压到27台，是目前年产量的两倍多，ASML也在采取措施确保提高生产力跟上需求。ASML计划在2018年将光刻机的年产量扩大到24台，而到2019年将达到40台的年产量。值得一提的是，目前ASML公司股票在过去一年内涨了30%，公司估值约为530亿欧元。