要跟上摩尔定律预言的晶体管密度步伐，芯片制造商正面临越来越大的技术障碍。如今主要芯片制造商如英特尔、台积电和全球晶圆（GlobalFoundries）正在考虑采用超紫外线蚀刻技术。超紫外线蚀刻扫描仪使用的激光波长不到今天最先进机器的十分之一，但要确保超紫外线蚀刻机器在晶圆工厂长期可靠的运行同样是一件艰巨的工程挑战。
多年来，超紫外线蚀刻技术一直面临质疑，未能达到其预期。现在荷兰公司ASML Holding宣布它将在2018年开始交付可用于大规模生产微处理器和内存的超紫外线蚀刻扫描仪。主要芯片公司正在判断这些机器何时和如何整合到它们的产品线。
