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柔性屏实用性大增:三星LG用ALD技术封装

骑猪兜风 2016-09-26 14:45:04    200787 次浏览

    据外媒报道,三星显示器公司与LG Display准备在柔性OLED薄膜封装过程中采用ALD(原子层沉积)技术,这将提高柔性OLED面板的寿命和性能。目前两家公司已经与合作伙伴合作,在内部采购并验证ALD设备。

柔性屏实用性大增:三星LG用ALD技术封装
三星LG用ALD技术封装柔性屏

    媒体援引产业人士说法,三星显示器和LG Display正准备在柔性OLED生产流程中采用ALD技术。两家公司完成了ALD技术的研发,它们正在考虑实际引入ALD的可能性,因为它们正在向柔性OLED生产设施投资。企业的研发已经完成,开始进入商用阶段。

    OLED是有机材料,它存在缺陷,比如OLED对水和氧的防护比较弱。为了保护OLED,制造商会在OLED之上铺上许多层的薄膜,减少水和氧的侵蚀。因此为了生成无机薄膜,三星和LG采用PECVD技术。

    为什么两家企业现在才考虑用ALD技术替代PECVD? 因为寿命和性能对于柔性OLED来说越来越重要。另外,柔性OLED屏幕的生产力下降,需求增长也是一个问题。

    ALD技术是CVD(化学蒸汽沉积)技术的一种,它交替喷射原材料(包括ALD金属和反应气体)从而形成原子薄膜层。MLD技术(分子层沉积)可以形成有机材料分子层,两者结合就可以形成多层屏障,保护OLED,使之免受水和氧的侵蚀,即使在低温下也可以形成。

    在屏幕生产过程中引进ALD技术有一些优势,例如它可以减少杂质,形成厚度相同的薄膜。ALD技术可以涂上高质量薄膜层,保护效果明显增强。除此之外,与现有的CVD方法相比,ALD技术还可以采用各种不同的薄膜,这也是它的一个优势。

    虽然ALD成为它们追捧的对象。不过一名产业代表称:“虽然ALD和PECVD不可同日而语,但是ALD的沉积速度比PECVD慢了大约10倍。因为沉积速度慢,生产效率也很低,大面积应用有困难,这些都是主要的障碍,之所以真正引进ALD技术,主是是考虑到它可以形成更薄的高质量薄膜。”

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